华电院采购共聚焦射频磁控溅射系统
竞价公告(****************)
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说明:各有关当事人对竞价公告内容有异议的,可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议,逾期将视为无异议,不予受理。
*、基本信息
竞价编号:**************** | |
项目名称:华电院采购共聚焦射频磁控溅射系统 | |
项目预算(元):***,***.** | 报价方式: 总价报价 |
采购单位:****** | 联系人:****** |
最少报价家数:3 | 联系电话:****** |
联系手机:****** | 电子邮箱:****** |
异议反馈:****** | |
开始时间:****-**-** **:**:** | 截止时间:****-**-** **:**:** |
*、资格条件
资格条件:原厂或者原厂授权。 |
*、商务要求
付款方式:签订合同后预付合同款的**%,验收合格后付剩下的**%。 | |
交付时间: 签订合同后7天送货。 | |
交付地址: 广东省广州市番禺区******大学城校区理5栋。 | |
质保期及售后要求:产品整机免费保修期不少于1年,需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后,若仪器发生问题,对相关的技术问题能在**小时内及时进行响应,供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除;若通过电话、传真、邮件等在1个工作日内仍不能解决问题,供方工程师应在其后**小时内赶到需方现场进行检修;若发生现场不能解决的问题,供方可将仪器(或故障部件)带回国内办事处进行处理,处理时间最长不超过**个工作日。质保期内,供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后,若仪器发生故障,供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理,供方只收取相应的材料费。 | |
其他要求:无 |
*、技术要求
序号 | 标的名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 是否限定品牌 | 技术要求 |
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1 | 共聚焦射频磁控溅射系统 | 1.** | 台 | 微纳真空/***-*** *** | 是 | 1.真空腔室:净空间尺寸不大于Φ*** ×**** **,要求前开门,前门需配备观察窗,观察窗玻璃尺寸不小于Φ9 ***,配至少*套方便拆卸的防污隔板;腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用***无磁不锈钢材质;2.真空系统:主泵分子泵抽速不小于**** **/ h,前级泵抽速不小于** **/ h,全量程数显复合真空计量程:1×***~1×**-***; 3. ★真空极限:优于2.3 ×**-7 ****;4.抽速:抽至4.0 ×**-6 ****≤ ** ***;5.基片台:根据客户要求定制的基片台,最大可处理基片不小于4英寸,基片台配*体式全尺寸挡板,挡板开合需要磁流体密封;基片台旋转:旋转速度0-**转/分连续可调,基片台旋转需要磁流体密封;基片台加热:***智能温控表,控温范围室温~*** °C;6. ★溅射靶及电源:不少于2只圆形平面靶,靶面尺寸不小于φ** **,可调整角度不小于±** °,可单靶轮流/双靶聚焦共溅射;直流电源不少于1台,要求可切换恒压,恒流,恒功率控制模式,电源功率可以预先设置;射频电源1台,频率**.** ***,要求自动匹配;7.靶挡板:靶上有气动水平打开式挡板,角度与靶倾斜角度同步可调,要求磁流体密封;8.速率和膜厚监控:采用膜厚监控仪在线监控溅射速率和膜厚,1只水冷探头;膜厚仪速率显示分辨率±0.1 ā/s,厚度显示分辨率±1ā;9.气路系统:不少于两路工艺气体** C控制,量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要;**.操控系统:** C+触摸屏手自*体操控系统,真空系统的控制分为手动和自动*种模式,自动模式下,根据腔内压强自动执行相关泵,阀的启闭;可远程监控,软件使用期限:永久有效;**.辅件配置:冷却循环水机1台,制冷量不小于**; |
*、附件
序号 | 附件名称 | 上传时间 | 大小 | 操作 |
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